真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體維護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
真空燒結(jié)爐的常見毛?。?br>一、冷卻水反常
1、承認(rèn)加熱電源已中止。
2、爐外產(chǎn)生漏水，冷卻水量反常時，應(yīng)趕快采納應(yīng)急措施，如能保證水量，請繼續(xù)堅持真空，如不能采納應(yīng)急措施，堅持原狀，承認(rèn)真空燒結(jié)爐設(shè)備冷卻下來。
3、冷卻水產(chǎn)生反常時，設(shè)備處于中止?fàn)顩r，馬上接通緊急用冷卻水。
4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時，假如冷卻水中止了，假如不能緊急送水，設(shè)備的換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
二、作業(yè)中遇到停電
1、停電時，假如斷水，應(yīng)立即接通備用的冷卻水，接通水源。
2、假如在非升溫、加熱和冷卻時，可以趕快康復(fù)時，重新啟動設(shè)備，繼續(xù)作業(yè)如需求較長時刻，則將真空燒結(jié)爐堅持原狀。
3、假如正在加熱和冷卻時，可以趕快康復(fù)時，重新啟動設(shè)備，假如需求較長時刻時，則堅持設(shè)備原狀，讓設(shè)備天然冷卻下來。
三、消除溫度過高引起報警
1、首要，查看作業(yè)區(qū)溫度控制器的參數(shù)是否正常，并參考正在運用的其他正常溫度控制器查看一切參數(shù)。
2、根據(jù)電路圖，查看相應(yīng)作業(yè)區(qū)域內(nèi)固態(tài)繼電器的輸出是否損壞。此方法：斷電后，用萬用表的電阻檔測量固態(tài)繼電器兩個輸出點之間的電阻。一般，電阻將到達幾兆歐姆或更高。假如它產(chǎn)生毛病且阻力很小，則須替換相同類型的新部件。
3、通電后，用手搖擺相應(yīng)作業(yè)區(qū)域的熱電偶探頭，查看相應(yīng)的恒溫器是否有較大的跳動。假如出現(xiàn)這種現(xiàn)象，則標(biāo)明熱電偶探頭接觸不良，需求替換。
四、真空反常：不能抽真空或抽真空過低
1、首要，承認(rèn)工廠真空源是否正常(-95kpa或以上)，壓縮空氣壓力是否正常(正常運用范圍為0.4-0.6Mpa)。
2、查看真空表是否無缺。比較正常運用的真空表，看參數(shù)是否正常。
3、查看門是否關(guān)閉，門的密封膜是否損壞、變形，門板上是否有異物?請仔細(xì)查看!
4、假如門沒有問題，應(yīng)查看相應(yīng)作業(yè)區(qū)域的管道、氣動閥和熱電偶。一般在熱電偶入口處有較多的狀況，因為假如替換了熱電偶，往往會損壞真空密封功能，必需用AB膠重新密封。
五、機械構(gòu)造斷層
1、門沒有關(guān)嚴(yán)。查看門鉸鏈?zhǔn)欠袼蓜樱凼欠褡冃?，門的密封帶是否損壞，門板是否變形。
2、風(fēng)機有異響，請仔細(xì)查看有無異物進入風(fēng)機風(fēng)輪，或固定電機的螺絲是否松動。
3、氣動閥不能作業(yè)，首要查看相應(yīng)的電磁閥是否能正常作業(yè)，壓縮空氣壓力是否滿足作業(yè)要求?假如氣壓正常，電磁閥良好，必需是氣動閥本身損壞，必需替換。
六、加熱電源掉電
1、水壓低，當(dāng)水壓低于0.15MPa，壓力表報警。
2、接地毛病。
3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器銜接處需求銜接牢固，與反射屏絕緣要好。
4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易產(chǎn)生放電)。電源出現(xiàn)毛病，掉電的原因可以認(rèn)為因為電介質(zhì)擊穿而引起的放電。
七、充氣氣體(氬氣或氮氣)中止
1、抽真空開始前，氣體充入時刻長或許無法充入時，請承認(rèn)氣體管路是否被阻塞。
2、如氣體管路沒問題，查看電磁閥及氣體充氣閥的動作，其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要悉數(shù)中止后再進行查看。
3、向真空室內(nèi)充氣不能中止的狀況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關(guān)閉氣體供應(yīng)閥及配管在內(nèi)的一切氣體系統(tǒng)。
4、承認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的當(dāng)?shù)?，如有會影響制品質(zhì)量。
八、真空室壓力惡化
1、真空排氣時刻比一般長時，應(yīng)把設(shè)備停下來進行查看，根據(jù)真空室內(nèi)構(gòu)造物不同狀況下放氣的影響，也有導(dǎo)致壓力升高的狀況。
2、通過壓力上升測試或許用氦氣檢漏來承認(rèn)是漏氣還有放氣的影響。
在真空和維護性氣氛中，對金屬、陶瓷及一些難熔金屬中間化合物粉末加熱燒結(jié)，要獲得定量的密度和具有機械功能的材料時，一般采用兩種工藝;即有壓燒結(jié)和無壓燒結(jié)。有壓燒結(jié)工藝是將粉狀材料置于真空和維護性氣氛中的高碳模具中，高溫加熱到軟化狀況時，加壓成型。這種工藝需求一種真空熱壓燒結(jié)才干實現(xiàn)。該燒結(jié)爐具有溫度高、真空度高、熱壓力高的特點。