真空燒結(jié)爐是在抽真空后充氫氣維護(hù)狀態(tài)下，使用中頻感應(yīng)加熱的原理，使處于線圈內(nèi)的鎢坩堝發(fā)生高溫，經(jīng)過熱輻射傳導(dǎo)到工作上，適用于科研、軍工單位對難熔合金如鎢、鉬及其合金的粉末成型燒結(jié)。又分為臥式真空燒結(jié)爐和立式真空燒結(jié)爐兩種，安裝電爐的場所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場地不易揚起塵埃等。
真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進(jìn)行真空燒結(jié)，氣體維護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)，是半導(dǎo)體用設(shè)備系列中新穎的工藝配備，它設(shè)計構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
