真空燒結爐是指在真空環(huán)境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，其加熱方法比較多，如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。真空燒結爐的子類真空燒結爐有碳化硅高溫真空燒結爐、真空等靜壓燒結爐、真空加壓快冷燒結爐、單室臥式熱壓燒結真空爐等。
那么真空燒結爐在運用的時分要注意哪些方面？
第一、真空燒結爐的操控柜安裝在相應的地基上，并固定。
第二、查看真空燒結爐的操控柜中所有部件及配件是否完備、無缺。
第三、安照接線圖，并參閱電氣原理圖，接通外接主回路及操控回路，并可靠接地，確保接線無誤。
第四、手動調壓旋鈕逆時針旋動頭。 真空燒結爐的報警鈕放在開位。
第五、查看電器可動部分應活動自若，無卡死現象。，絕緣電阻應不低于2兆歐姆。
第六、真空燒結爐各閥門必須在封閉方位。 真空燒結爐的操控電源開關放在關位。
第七、按平面圖完結設備的循環(huán)冷卻水聯接，建議用戶在設備總進出水管處再接入一備用水（可用自來水），防止循環(huán)水有故障或斷電導致密封圈燒壞。
真空燒結爐首要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規(guī)燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構思新穎，操作便利，結構緊湊，在一臺設備上可完結多個工藝流程。