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真空爐熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程，有時只要加熱和冷卻兩個過程。這些過程相互聯(lián)接，不行間斷。
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因為真空爐的種類和型式許多，因此維護和檢修的項目各不相同，修理查看內(nèi)容應(yīng)依據(jù)爐子技能文件并可按實際需要分為每爐次、每日、每月，每半年和每一年進行的項目。
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真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器材及電力整流器材的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體維護燒結(jié)及慣例燒結(jié)，是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作便利，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。下面，小編就為您介紹真空燒結(jié)爐的應(yīng)急辦法。
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真空爐一般由主機、爐膛、電熱設(shè)備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用處,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設(shè)備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
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對真空爐進行修理后，要進行烘爐、有必要對真空爐進行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于2MΩ。
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真空爐爐膛內(nèi)的壓力能抽成低於大氣壓力的工業(yè)爐。真空爐用電加熱﹐被加熱的工件外表不氧化﹐不脫碳﹐變形小﹐機械性能好。用真空爐熔煉金屬有利於除去雜質(zhì)﹐制品針孔少﹐偏析小﹑質(zhì)量好。真空爐適用於高質(zhì)量﹑高純度﹑難熔金屬的熔煉和加熱﹐例如用於鎢﹑鉬﹑鉭﹑鈮﹑鈦﹑耐熱合金鋼的鍛煉和磁性材料﹐電工材料﹑高強鋼﹑不銹鋼﹑工具鋼﹑模具鋼等的熱處理。
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真空燒結(jié)爐首要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝，可進行真空燒結(jié)，氣體維護燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié)。是半導(dǎo)體專用設(shè)備系列中一種新穎的工藝配備，它規(guī)劃構(gòu)思新穎，操作方便，結(jié)構(gòu)緊湊，在一臺設(shè)備上可完結(jié)多個工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理，真空釬焊等工藝。
